Skip to the end of the images gallery Navigation umschalten
Skip to the beginning of the images gallery Navigation umschalten
Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
Paperback
204 Seiten
ISBN-13: 9783863602000
Verlag: Universitätsverlag Ilmenau
Erscheinungsdatum: 01.01.2019
Sprache: Deutsch
Farbe: Ja
20,40 €
inkl. MwSt. / portofrei
Ihr eigenes Buch!
Werden Sie Autor*in mit BoD und erfüllen Sie sich den Traum vom eigenen Buch und E-Book.
Mehr erfahrenIn dieser Arbeit wurde eine Hohlkathodenentladung (engl.: hollow cathode discharge, kurz HCD) und die damit erzeugte diamantartige Kohlenstoffschicht (engl.: diamond-like carbon, kurz DLC) in einer Sacklochgeometrie untersucht. Das Hauptziel war die Erarbeitung eines Grundlagenverständnisses über die Wirkmechanismen bei der Plasmagenerierung und der DLC-Beschichtung. Aufbauend auf die Analyse der Gasdruckverteilung und des Anregungssignals wurden Spannungs-Strom-Charakteristiken unter Argonatmosphäre bestimmt. Die Einflüsse auf die Schichteigenschaften wie Wachstumsraten, sowie Schichtdickenprofile und Schichthärte auf der Probenlängsachse konnten messtechnisch identifiziert werden. Nachdem die Einflussgrößen und Mechanismen in den einzelnen HCD-Zonen identifiziert und analysiert wurden, werden die Prozesse zur Beschichtung von Sacklochgeometrien beherrscht. Aufbauend auf den Ergebnissen können die Parameter der Beschichtung in einer Sacklochgeometrie gezielt verändert werden.
Eigene Bewertung schreiben
Es sind momentan noch keine Pressestimmen vorhanden.